μMLA 卓上マスクレスアライナー
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbHは、この度、卓上マスクレスアライナー「μMLA」をリリースしました。 630mm×770mmとデスクトップサイズのフットプリントながら最小線幅0.6μmとサブミクロンの描画が可能なマスクレス露光...
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シーズ＆ニーズセミナー＠nano tech 2018
2018年2月16日
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