第27回 マイクロシステム融合研究会 日時 : 10月25日（金） 14：00～17：40, 17：40～ 交流会 場所 : 東北大学　西澤潤一記念研究センター http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/access.html 内　「 仙台MEMSショールーム」 http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/showroom/index.html 主催 : 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp, MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）http://www.memspc.jp 問合先 : 東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター 庄子 留美子 Tel.022-305-2351, Fax 022-229-4116, E-mail rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp 参加 : 無料、当日直接参加可、交流会（1,000円　同フロアの自作LSI装置室） 【プログラム】　14：00～17：40　（17

マスクレスリソグラフィセミナー＆ワークショップを開催いたします。 近年、プロセスにマスクを必要としない事で高い経済性と開発サイクルの速さを特徴とするマスクレス露光技術は急速に進化しており、高い汎用性・品質・スループット・可能描画エリアの大きさが延びてきている事から様々な分野から注目され、研究開発の分野だけでなく生産での採用事例も増えてきました。 今回のセミナーでは、弊社のマスクレスアライナーの他、描画データシュミレーションソフト、フォトレジスト等の関連技術のプレゼンテーションが用意されております。 ワークショップでは、弊社デモルームに設置されているHIMT社製マスクレス露光装置MLA150を使ってのハンズオン・トレーニングをご体験いただける貴重な機会でございます。 ご多忙のところとは存じますが、是非ご参加いただけますようお願い申し上げます。 <開催日程> 2019年11月7日（木） <場所> ジャーマンインダストリーパーク 〒226-0006　神奈川県横浜市緑区白山1-18-2 <プログラム> 9:30 受付開始 9:50 挨拶 1