September 25, 2019
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Hideo Jotaki
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbHは、この度、卓上マスクレスアライナー「μMLA」をリリースしました。
630mm×770mmとデスクトップサイズのフットプリントながら最小線幅0.6μmとサブミクロンの描画が可能なマスクレス露光装置です。
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ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
営業部 sales@himt.co.jp
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