September 25, 2019
|
Hideo Jotaki
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbHは、この度、卓上マスクレスアライナー「μMLA」をリリースしました。
630mm×770mmとデスクトップサイズのフットプリントながら最小線幅0.6μmとサブミクロンの描画が可能なマスクレス露光装置です。
紹介ページへ
お問い合わせ先
ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
営業部 sales@himt.co.jp
μMLA 卓上マスクレスアライナー
学会・展示会出展情報 - 2019年4月15日
April 15, 2019
マスクレスリソグラフィー・セミナー&ワークショプ開催のご案内
October 8, 2019
第27回 マイクロシステム融合研究会 講演のお知らせ
October 9, 2019
グレイスケールリソグラフィー・セミナー開催のご案内
May 20, 2019
グレイスケールリソグラフィー・セミナー&ワークショプ開催のご案内
April 19, 2019
グレイスケールリソグラフィー・セミナー&ワークショプ 来場御礼
November 26, 2018
MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2018 来場御礼
November 1, 2018
MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2018 出展のご案内
September 22, 2018
学会・展示会出展情報 - 2018年8月13日
August 13, 2018
