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October 9, 2019

第27回 マイクロシステム融合研究会

日時 : 10月25日(金)    14:00~17:40, 17:40~ 交流会 

場所 : 東北大学 西澤潤一記念研究センター http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/access.html 内 「

   仙台MEMSショールーム」 http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/showroom/index.html

主催 : 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)http...

October 8, 2019

マスクレスリソグラフィセミナー&ワークショップを開催いたします。

近年、プロセスにマスクを必要としない事で高い経済性と開発サイクルの速さを特徴とするマスクレス露光技術は急速に進化しており、高い汎用性・品質・スループット・可能描画エリアの大きさが延びてきている事から様々な分野から注目され、研究開発の分野だけでなく生産での採用事例も増えてきました。

今回のセミナーでは、弊社のマスクレスアライナーの他、描画データシュミレーションソフト、フォトレジスト等の関連技術のプレゼンテーションが用意されております。

ワークショップでは、弊社デモルームに設置...

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マスクレスリソグラフィー・セミナー&ワークショプ開催のご案内

October 8, 2019

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