11月08日(木) | 東北大学 西澤潤一記念センター

グレイスケールリソグラフィ&ワークショップ

ハイデルベルグ・インストルメンツのレーザー直接描画装置 GenISysのシミュレーションソフトウェア micro resist technologyのグレイスケール用厚膜フォトレジスト 等々、グレイスケールリソグラフィに纏わる各メーカーから最新ソリューションをご紹介 また希望者には実際に描画を行っていただけるワークショップも開催
お申込みありがとうございます。
グレイスケールリソグラフィ&ワークショップ

日時・場所

2018年11月08日 11:00 – 2018年11月09日 18:30
東北大学 西澤潤一記念センター

開催概要

ハイデルベルグ・インストルメンツ-東北大学試作コインランドリ グレイスケールリソグラフィセミナー&ワークショプ

◆主催

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

◆共催

GenISys株式会社

株式会社日本レーザー

◆概要

グレイスケールリソグラフィセミナー 2018年11月8日 14:00~18:30

Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

GenISysGmbH

micro resist technology GmbH

東北大学試作コインランドリ

交流会

ハンズオンワークショップ      2018年11月9日 10:00~18:30

ステップ&スロープ・フレネルレンズ等の構造体を実際のレジストに対するグレイスケール描画を行います。

応募者多数の場合、プロセスのご見学になる可能性がございます。

*詳細スケジュールは確定次第ご案内させて頂きます。 

**HIMT・GenISys・MRTのプレゼンテーションは英語で行われます。同時通訳をご用意しております。

◆アクセス

推奨アクセス法1: 地下鉄東西線 仙台駅(13:13) → 地下鉄青葉山駅(13:22)、学内バス(直前に星稜(医学部)行あり行先注意) 青葉山駅(13:37) → 西澤センター(13:48)

推奨アクセス法2: 地下鉄東西線 仙台駅(12:36) → 地下鉄青葉山駅(12:45)、市営バス 青葉山駅(12:58) → 青葉台駅(13:03) 徒歩5分 西澤センター

帰り1 (交流会に参加の方)、学内バス 西澤センター(18:40) → 地下鉄青葉山駅(18:51)(乗り切れない場合は車でお送りします)、地下鉄青葉山駅(18:59) → 仙台駅(19:08) (東北新幹線仙台駅(19:30発)(19:53発))

帰り2 (交流会に参加されない方)、市営バス 徒歩5分 青葉台駅(18:17) → 地下鉄青葉山駅(18:22)、地下鉄青葉山駅(18:35) → 仙台駅(18:44) (東北新幹線仙台駅(18:57発)(19:30発))

なお地下鉄東西線は7分毎で仙台駅から10分かかります。

◆お願い

セミナーの会場には食事説、売店等はありません。集合前に食事をお済ませください。

◆ご案内

午前中に試作コインランドリ や 「近代技術史博物館」 などをご覧いただけます。

◆定員

セミナーのみ 50名

セミナー及びワークショップ 30名

◆備考

参加登録時にシステムの都合上"お支払へ進む"と表示されますが費用は発生しません。

参加イベント
価格
数量
合計
  • セミナー+ワークショップ
    ¥0
    ¥0
    0
    ¥0
  • セミナー
    ¥0
    ¥0
    0
    ¥0
合計¥0

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