グレイスケールリソグラフィ＆ワークショップ

ハイデルベルグ・インストルメンツ-東北大学試作コインランドリ　グレイスケールリソグラフィセミナー&ワークショプ

◆主催

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

◆共催

GenISys株式会社

株式会社日本レーザー

◆概要

グレイスケールリソグラフィセミナー　2018年11月8日　14:00~18:30

Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

GenISysGmbH

micro resist technology GmbH

東北大学試作コインランドリ

交流会

ハンズオンワークショップ 　　　　 2018年11月9日　10:00~18:30

ステップ＆スロープ・フレネルレンズ等の構造体を実際のレジストに対するグレイスケール描画を行います。

応募者多数の場合、プロセスのご見学になる可能性がございます。

*詳細スケジュールは確定次第ご案内させて頂きます。　

**HIMT・GenISys・MRTのプレゼンテーションは英語で行われます。同時通訳をご用意しております。

◆アクセス

推奨アクセス法1： 地下鉄東西線 仙台駅(13:13) →　地下鉄青葉山駅（13:22）、学内バス(直前に星稜(医学部)行あり行先注意) 青葉山駅(13:37) →　西澤センター(13:48)

推奨アクセス法2： 地下鉄東西線 仙台駅(12:36) →　地下鉄青葉山駅（12:45）、市営バス 青葉山駅(12:58) →　青葉台駅(13:03) 徒歩5分　西澤センター

帰り1 (交流会に参加の方)、学内バス 西澤センター(18:40) →　地下鉄青葉山駅（18:51）(乗り切れない場合は車でお送りします)、地下鉄青葉山駅（18:59）　→　仙台駅(19:08) (東北新幹線仙台駅(19:30発)(19:53発))

帰り2 (交流会に参加されない方)、市営バス 徒歩5分　青葉台駅(18:17) →　地下鉄青葉山駅（18:22）、地下鉄青葉山駅（18:35）　→　仙台駅(18:44) (東北新幹線仙台駅(18:57発)(19:30発))

なお地下鉄東西線は7分毎で仙台駅から10分かかります。

◆お願い

セミナーの会場には食事説、売店等はありません。集合前に食事をお済ませください。

◆ご案内

午前中に試作コインランドリ　や　「近代技術史博物館」　などをご覧いただけます。

◆定員

セミナーのみ　50名

セミナー及びワークショップ　30名

◆備考

参加登録時にシステムの都合上"お支払へ進む"と表示されますが費用は発生しません。