@京都大学-グレイスケールリソグラフィセミナー＆ワークショップ

グレイスケールリソグラフィセミナー&ワークショプ

◆主催

京都大学　学際融合教育研究推進センター　ナノテクノロジーハブ拠点

ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

◆共催

GenISys株式会社

◆概要

グレイスケールリソグラフィセミナー　2019年5月30日　13:00~18:00

ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

GenISys株式会社

ナガセケムテックス株式会社

京都大学　学際融合教育研究推進センター　ナノテクノロジーハブ拠点

交流会

ハンズオンワークショップ 　　　　 2019年5月31日　9:00~17:30

ステップ＆スロープ・フレネルレンズといった3次元構造体を実際のレジストにグレイスケール描画を行います。

◆会場

5月30日セミナー　　　　　京都大学国際科学イノベーション棟5階会議室A、B 地図はこちら

5月31日ワークショップ　　京都大学工学研究科物理系校舎327号室　地図はこちら

*5月30日セミナーのセッション終了後交流会を予定しています。

**5月31日ワークショップに参加の場合はクリーンルームウェア・クリーンシューズをご持参ください。お持ちでない方は事前にご相談ください。

◆定員

セミナーのみ　40名

セミナー及びワークショップ　10名

◆備考

お申込みは1名様1枚ずつでのお手続きをお願いいたします。

参加登録時にシステムの都合上"お支払へ進む"と表示されますが費用は発生しません。

受付時にお名刺を1枚頂戴いたします。お名刺のご用意をお願いいたします。