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μMLA
卓上マスクレスアライナー

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最小描画線幅
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光源波長
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最小基板サイズ
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最大基板サイズ
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最大描画エリア
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対応基板厚み
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対応CADフォーマット
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本体サイズ
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本体重量
: 0.6μm
: 405nm/390nm/375nm/365nm
: 5mm x 5mm
: 5" x 5"
: 100mm x 100mm
: 0.1mm~12mm
: GDSII/DXF/CIF/GERBER
: W630mm D770mm H530mm
: 100Kg
リアルタイムオートフォーカス機能
カメラシステム
グレイスケール描画機能
お問い合わせ先 :

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