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μMLA

​卓上マスクレスアライナー

  • 最小描画線幅

  • ​光源波長

  • 最小基板サイズ

  • 最大基板サイズ

  • 最大描画エリア

  • 対応基板厚み

  • ​対応CADフォーマット​​

  • ​本体サイズ

  • ​本体重量

: 0.6μm

: 405nm/390nm/375nm/365nm

: 5mm x 5mm

: 5" x 5"

: 100mm x 100mm

: 0.1mm~12mm

: GDSII/DXF/CIF/GERBER

: W630mm D770mm H530mm

: 100Kg

リアルタイムオートフォーカス機能

カメラシステム​

​グレイスケール描画機能

お問い合わせ先 : 

ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社営業部

Sales@himt.co.jp

045-532-6955