nano tech 2018 シーズ&ニーズセミナー　2018年2月16日＠東京ビッグサイト

東北大学 試作コインランドリにおけるハイデルベルグ・インストルメンツ社製レーザー直接描画装置を用いた
グレイスケールリソグラフィの実践とその加工例