μMLA 卓上マスクレスアライナー


Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbHは、この度、卓上マスクレスアライナー「μMLA」をリリースしました。

630mm×770mmとデスクトップサイズのフットプリントながら最小線幅0.6μmとサブミクロンの描画が可能なマスクレス露光装置です。

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お問い合わせ先

ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

営業部 sales@himt.co.jp

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