μMLA 卓上マスクレスアライナー Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbHは、この度、卓上マスクレスアライナー「μMLA」をリリースしました。630mm×770mmとデスクトップサイズのフットプリントながら最小線幅0.6μmとサブミクロンの描画が可能なマスクレス露光装置です。 紹介ページへ お問い合わせ先ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社営業部 sales@himt.co.jp
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbHは、この度、卓上マスクレスアライナー「μMLA」をリリースしました。630mm×770mmとデスクトップサイズのフットプリントながら最小線幅0.6μmとサブミクロンの描画が可能なマスクレス露光装置です。 紹介ページへ お問い合わせ先ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社営業部 sales@himt.co.jp